电阻分压器电路中使用的可调电阻器及其制造方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200780014270.6 （22）申请日 2007.04.19 （71）申请人 NXP股份有限公司

地址 荷兰艾恩德霍芬

（10）申请公布号 CN101427346A

（43）申请公布日 2009.05.06

（72）发明人 安迪·C·尼古瓦

（74）专利代理机构 中科专利商标代理有限责任公司

代理人 朱进桂

（51）Int.CI

H01L21/02; H01L27/08; H01C10/00; H01L27/10;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

电阻分压器电路中使用的可调电阻器及其制造方法

（57）摘要

一种制造电阻分压器电路的方法，包括提

供具有从其延伸的多对中间抽头的硅体(60)。每个抽头包括支撑相对较宽硅平台(62)的硅柱(61)。在所述硅体(60)和中间抽头上形成硅化保护(SIPROT)层(S)，然后使所述硅化保护层(S)形

成图案，以便暴露所述硅平台(62)。执行硅化处理，以便硅化平台，从而形成具有相对较低电阻的相应接触焊盘。

法律状态

法律状态公告日

2009-05-06 2009-05-06 2009-07-01 2009-07-01 2010-12-15 2010-12-15 2020-04-03

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止

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公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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