制作高压双向触发二极管的方法

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN2009100311.2 （22）申请日 2009.06.19

（71）申请人 常州银河电器有限公司

地址 213022 江苏省常州市新北区河海西路168号

（10）申请公布号 CN101593693B

（43）申请公布日 2011.02.16

（72）发明人 王兴龙;唐国琴;孙良

（74）专利代理机构 常州市天龙专利事务所有限公司

代理人 王淑勤

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

制作高压双向触发二极管的方法

（57）摘要

本发明涉及一种制作高压双向触发二

极管的方法，该方法按下述步骤依次处理原料硅片：化学抛光→硼扩散→掩膜氧化→双面一次光刻→磷扩散→镀镍及合金化→划片→焊接→酸洗→保护→封装后，制得高压双向触发二极管成品；其化学抛光步骤是将原料硅片用腐蚀液在常温下均匀腐蚀3～5分钟后，经多次清洗并干燥得到表面为亚光的硅片(1)，其中所用腐蚀液是由氢氟酸、冰乙酸和按体积比1∶1～3∶25～30混合形成的；其酸洗步骤是用混合酸液浸泡腐蚀焊接

步骤得到的硅片(1)外周，形成腐蚀层(8)而获得电性能，其中所用混合酸液是由氢氟酸、、乙酸和硫酸按体积比9∶9∶9～15∶4混合形成的。工序简化，成本低，性能可靠，抗烧蚀。 法律状态

法律状态公告日2009-12-02 2010-01-27 2011-02-16

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权

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说明书

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