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专利名称：薄膜晶体管及其制备方法与显示装置专利类型：发明专利发明人：罗传宝
申请号：CN201910981955.2申请日：20191016公开号：CN110828578A公开日：20200221
摘要：本发明公开了一种薄膜晶体管，包括：基板；栅极；栅极绝缘层；有源层；阻隔层；源漏电极；钝化层；以及，像素电极，所述阻隔层位于所述有源层之上，所述源漏电极之下，所述阻隔层为含有极性官能团的硅氧烷，所述极性官能团为巯基、胺基以及卤代烷基中的至少一者。通过设置本发明所述的阻隔层，可有效避免Cu离子在后续高温制程扩散至有源层内形成缺陷，恶化器件的电学性能，并且，该方法操作简便，成本低廉，制程时间短。
申请人：深圳市华星光电技术有限公司
地址：518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
国籍：CN
代理机构：深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)
代理人：李汉亮
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