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碲镉汞光伏探测器深能级缺陷的检测方法[发明专利]

来源:微智科技网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:碲镉汞光伏探测器深能级缺陷的检测方法专利类型:发明专利

发明人:陆卫,殷菲,张波,甄红楼,李天信,陈平平,李志锋,李宁,

陈效双

申请号:CN200810200210.X申请日:20080922公开号:CN101377533A公开日:20090304

摘要:本发明公开了一种检测碲镉汞红外探测器深能级缺陷的检测方法,它是基于在激光辐照下,深能级被激活引起隧穿电流的原理,采用相敏检测技术(锁相放大器+机械斩波器)得到激光辐照下的反常电流信号,并除去常规的激光束诱导电流信号,剩下的即为深能级缺陷引起的陷阱辅助隧穿电流,可作为判断样品中深能级的标准,此电流值越大,样品中深能级缺陷数目越多。本发明的优点在于能表征对器件暗电流有贡献的深能级缺陷特性。

申请人:中国科学院上海技术物理研究所

地址:200083 上海市玉田路500号

国籍:CN

代理机构:上海新天专利代理有限公司

代理人:郭英

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