专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：标定方法及标定装置专利类型：发明专利发明人：史喆琼
申请号：CN201611062006.7申请日：20161125公开号：CN106502058A公开日：20170315
摘要：本发明提供了一种标定方法和标定装置，用于光刻机XY轴载物平台偏摆在线测试，属于光刻技术领域。本发明公开的一种标定方法，在光刻机的XY轴载物平台上放置标定板；选定需要标定的图形点A和B，读取A与B之间的距离为d1；将图形点A的中心移动到第一相机的中心点重合；微调第二相机，使图形点B位于第二相机的视野范围内，读取两相机之间的距离d2，以及第二相机中心点和标定点之间的距离d3；根据d1、d2、d3计算标定板的偏摆角a，该方法可以在线测试偏摆，能够实现平台在线测试偏摆，解决了现有技术中光刻机平台整机组装成功后无法测量偏摆的技术问题。
申请人：天津津芯微电子科技有限公司
地址：300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路167号133、302、303、305、306、307、309、310
国籍：CN
代理机构：北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：马维丽
更多信息请下载全文后查看
