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影响光纤SPR传感器性能的几个因素

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2010年第29卷第5期 传感器与微系统(Transducer and Microsystem Technologies)47 影响光纤SPR传感器性能的几个因素 孟庆民 (临沂师范学院信息学院,山东临沂276000) 摘要:要设计最佳性能的光纤表面等离子体波共振(SPR)传感器,必须研究各种参数对传感器性能的 影响,根据给出的评估标准进行优化。由于所有参数统一优化存在困难,同时也没有必要,因此参数的优 化可以在特定条件下进行。在给出理式的基础上,利用设计的SPR传感器对影响性能的各参数进行 了理论计算,并对结果进行了比较和分析,为光纤SPR传感系统的优化设计提供了参考,并给出了设计建 议。 关键词:物理光学;表面等离子体共振;光纤传感器;折射率;共振强度 中图分类号:TP212.1 文献标识码:A 文章编号:1000-9787(2010)05--0047---03 Influencing factors 0f optical fiber SPR .SenS0r oertormance  ^ MENG Qing・min (CoHege of Information,Linyi Normal University,Linyi 276000,China) Abstract:To design fiber SPR sensor with optimal performance:the inlfuence of lal parameters on performance of the sensor should be studied,optimization Can be realized according to estimation standard.It is very diicultf and unnecessary to optimize all parameters,SO parameter optimization Can be carried out in particular condition.On the basis of giving academic formula.All parameters which influence characteristics is theoretic calculated using the SPR sensor.Optimal suggestion is provide by comparing and analyzing the experiment results. Key words:physical optics;surface plasmon resonance(SPR);opticla ifber sensor;refractive index;resonance intensity 0引 言 生一定的影响。 自1968年Otto A 等人首先设计了棱镜耦合的表面 本文首先建立光纤SPR传感器的理论模型和理论计 算公式,然后,利用这些参数进行理论计算,并对结果进行 等离子体波共振(surface plasmon resonance,SPR)传感器之 后,出现了多种基于SPR效应的传感器 J。其中,在上世 纪90年代初出现的基于SPR技术的光纤传感器 ,同 分析比较,从而为优化光纤SPR传感器性能提供依据。 1相关理论 棱镜传感器相比,它体积小,响应快,成本低,可以实现在线 实时检测,有着更大的研究前景和经济价值。 在光纤SPR传感器中,最为重要的结构就是光纤SPR 传感探头。通常,光纤SPR传感器中采用的光源带宽是确 定的,因而波长不可调节;而入射角范围由光纤的数值孔径 决定,一旦传感器设计好,入射角范围也随之确定,也不可 本文所设计的光纤SPR传感器由光纤纤芯、黏结层、 金属层(常用的为Au和Ag)组成,图1为结构示意图。 ^g膜 图1光纤SPR传感器结构设计图 Fig 1 Structure diagram of optical fiber SPR sensor 调节;另外,在一定的温度下,传感器中各个构件的色散特 性是一定的,不可调节;但对于被测对象,通常假定其折射 率无色散。尽管这些参数变为确定的,然而,光纤SPR传 感探头却带来了其他各种参数,并且,对传感系统的性能产 以子午光线在光纤中的传输和对表面等离子体共振的 作用为例,给出光纤SPR传感器中相应的理论计算公 式 。 收稿日期:2009-10-07 {基金项目:山东省自然科学基金资助项目(Y2OO8EO1) 48 Ⅳ(z,d, )= 21, 传感器与微系统 (1) 干扰性能有所提升。 第29卷 (A , ,l2,,l3,d,d1, ,f) 古 帆 ,( ), (2) 式中Ⅳ(f,d,0 )为光线在传感器中的反射次数;0;为光纤 内反射角;A为入射光波长;f为被测介质温度;no,n ,n2, 为分别为纤芯、黏结层、金属层和被测介质的折射率;d,d , 波长/run d 分别为纤芯直径、黏结层和金属层的厚度;2为探头长度; 为模数; 为入射角;,( )为传播模式分布密度函数,且 ,(6i): 熊 . 2计算结果分析 2.1折射率的影响 计算中采用的纤芯折射率变化范围为1.4o—1.80RIU, 间隔0.02 RIU,金属层分别为Au和Ag,结果如图2所示。 750 骶 700 墨 650 600 羹 5450 。5。0 4OO I.柏1.45 1.5O 1.55 1.60 1.65 1.7O 1.75 纤芯折射率 图2纤芯折射率和共振波长的关系 Fig 2 Relation of ifber core refractive index and resonsnce wavelength 可以看出:对于确定的被测环境介质,无论是Au膜还 是Ag膜光纤SPR传感器,其共振波长随着光纤纤芯折射率 的增大而减小;换言之,如果被测对象的折射率较大,可以 采用折射率较大的光纤纤芯,并且,从图2中可以看到,光 纤纤芯的折射率对于Ag膜光纤SPR传感器的共振波长影 响较大,调整范围为250 nm,而Au膜光纤SPR传感器的调 整范围只有200 nm。通常希望传感器工作在较高的波长 上,因为在较高波长上传感器的灵敏度较高,因此,并不是 光纤纤芯的折射率越大越好。一般光纤纤芯折射率和被测 对象折射率在一个相差不大的范围内比较合适。 2.2光纤纤芯直径 式(1)表明:光纤的直径直接和反射次数有关,直径越 小,反射次数越多,共振区域增加,从而光谱曲线的共振峰 值会越小。 在100~1100 m范围内,以间隔100 la,m改变光纤纤 芯直径d,可得结果如图3所示。结果表明:光纤纤芯的直 径变化没有导致共振波长发生偏移,但共振强度有所变化 (图4):光纤纤芯直径越小,反射次数则越多,相对共振区 域增大,处于共振波长处的光波能量吸收增加,从而反射回 来的共振强度变小;随着光纤纤芯直径的增加,传感器的抗 圈3 Au膜和Ag膜光纤SPR传感器中不同光纤直径对应的 光谱曲线 Fig 3 spectrum curveofdifferentfiber dia.inAufilm andAgfilm opticalfiebr SPR sensor 35 30 25 20 l5 l0 5 0 0.1 0.Z O3 0.4 O.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1.0 1.1 纤芯直径/力m 图4共振强度与光纤纤芯直径的关系 Fig 4 Relation ofresonance intensity and fiebr COre dia Ag膜光纤SPR传感器和Au膜光纤SPR传感器的特 性与光纤纤芯直径的关系一致,表明光纤纤芯直径的变化 与采用何种金属材料不相关。通常选用直径为400 I.Lm或 者600 OJn的石英光纤,这样既可以保证共振强度适当,又 兼顾到传感器的抗干扰性能。 2.3探头长度 探头长度对传感器性能的影响类似于纤芯直径。从 式(1)可见,探头长度同样直接和反射次数有关,探头长度 越长,反射次数越多,共振区域增加,从而光谱曲线的共振 峰值会越小。 改变探头长度z,分别为1,2,5,10,15,2O,25ln'rn和 30 mm。理论计算结果表明:探头长度的变化不会影响共振 波长,而会影响共振强度(如图5)。随着探头长度增加,反 射次数也随之增加,共振区域增大,处于共振波长处的光波 能量吸收增加,从而反射回来的共振强度变小。 实际设计时,探头长度应该根据实际需要选取,通常希 望体积小些,这样容易加工。本文设计的Ag膜光纤SPR传 感器的探头取为25 i/iar.,Au膜光纤SPR传感器的探头取为 15mmo 2.4黏结层 为了提高传感器寿命,有必要加上黏结层,增加金属层 和光纤纤芯之间的黏结力。 关于黏结层的选择,必须满足在传感器的工作波段透 明,对各个波段的吸收要小,尽量不要影响传感器的特性。 本文中选用Cr作为黏结层。 唾 第5期 孟庆民:影响光纤SPR传感器性能的几个因素 49 骤 探头长度/irm 圈5共振强度与探头长度的关系 Fig 5 Relation of reson ̄llec intensity and probe length 在实验中,以间隔l nm在0~10 nm间改变cr层的厚 度d。。理论计算结果表明:cr层的存在不会导致共振波长 发生变化,但厚度的增加会阻碍光进入金属层,使得激发表 面等离子体共振的光减少,从而会导致共振强度增加(如图 6)。在设计的Au膜光纤SPR传感器设计中,cr层厚度取 为2.4nm。 45 40 35 30 25 2O 15 l0 5 黏接层厚度/nm 图6共振强度与黏结层厚度的关系 Fig 6 Relation fo resonance intensiyt and adhesjve layer thickness 2.5金属层 SPR传感器中,金属的特性至关重要。一般而言,能够 用于SPR传感器的金属材料有Au,Ag,cu,Al等。其中,以 Ag的特性最佳,其次是Au。虽从光学特性而言性能次之, 但Ag膜光纤SPR传感器的寿命较长。然而,Ag膜的化学 特性活泼,容易氧化,因此,常规的Ag膜光纤SPR传感器只 适合一次使用的场合,并且,必须在制造后一周内使用,如 果时间太长,就会因氧化而导致传感器性能急剧下降。合 适的方法是在Ag层的外层再加上保护层,这样可以提高 Ag膜光纤SPR传感器的寿命。 实验中以5 nm间隔在20—80 Bill改变金属层的厚度 。理论计算表明:无论是Ag膜光纤SPR传感器还是Au 膜光纤SPR传感器,在膜层较薄时,比如20 ̄40 nm,共振波 长受金属层厚度影响非常明显(如图7),这主要是金属膜 层在这个厚度下尚未完全形成较均匀的表层,因此,表层电 子浓度与表层结构关系密切,导致共振波长受金属厚度影 响明显。当金属膜层厚度超过45 nm时,金属层已经成为 表面较为平滑、厚度较为均匀的一层,此时,即使金属厚度 再增加,但表面等离子体浓度已趋稳定,共振波长也相对稳 定。 事实上,在厚度低于4O nm时,传感器的鲁棒性相当 差,测试的稳定性和重复性较差,厚度超过45 nm后,传感 嗽 日『 童 案 金属膜厚度/nm 图7共振波长和金属膜层厚度的关系 g 7 Relation of resO咖Oe wavelength and meta1 1f1..m..—— ̄thickne ̄ 器才具有很好的鲁棒性。因此,传感器中无论是采用Au层 还是Ag层都要求厚度大于45 nm。但是并非越厚越好,随 着厚度增加,导致共振强度增加(如图8),这样不利于检测 折射率虚部变化的环境介质。在设计的系统中,Ag膜厚度 为54.0nm,Au膜厚度为50.1 nm。 蕊 舀 金属膜厚度/nm 图8共振强度与金属层厚度的关系 Fig 8 Relationof resonanceintensiyt andmetalfilmsthickness 3结论 通过对影响光纤SPR传感器性能的各参数的计算和分 析,为进一步优化光纤SPR传感器结构和性能提供了理论 和实验依据。事实上,式(2)只是给出了基于图1结构的光 纤SPR传感器反射系数计算公式,与实测数据并不一致。 实际检测中,应首先记录光纤SPR传感器在空气中的波长 谱作为参考信号,然后,记录传感器在被测对象中的波长 谱,并取其比值加以修正后,才是真正需要检测的信号。 值得注意的是,上述结果和分析均没有考虑被测介质 温度的影响。实际上,表面等离子体波与表面等离子体密 度密切相关,而等离子体密度又与温度相关,因此,系统应 用中必须考虑温度问题。 参考文献: [1]Otto A.Excitation of surface plasma waves in silver by the method offrustrated total reflection[J].z.Physik,1968(216):398— 410. [2]Kretschmann E.The determination fo hte optical constants of met— als by excitation of surface plasmons[J].Z.Physik,1971(241): 313-324. [3]郭继华,刘通,神 帅.表面等离子体波检测的新技术研 究[J].光学学报,1996,16(9):1322一l325. [4]Homola J,Yee S S,Gauglitz G.Surface plasmon resonance sen. sors:review[J].Sensors and Actuators B,1999(54):3-15. (下转第52页) 52 表1实验数据 Tab 1 Experimental data 传感器与微系统 第29卷 感器可通过光纤使电学系统远离测量现场,从而达到本安 要求,在石油、化工等领域高危作业环境下的料位、液位等 绝对误差 (1nm) 0 1 2 距目标距离(mil1) 467 487 492 实测值(mil1) 466 486 492 绝对误差 距目标距离(mil1) 1 1 0 实测值(mm) 2412 2406 2385 的测量中具有很好的应用前景。 参考文献: [1]金国藩,李景镇.激光测量学[M].北京:科学出版社,1998: 10-15. (him) 2412 2407 2387 [2]丁小平,王薇,付连春.光纤传感器的分类及其应用原 l 627 1 632 1 642 1627 l637 1 64l 0 1 1 2861 2856 2846 2858 2855 2844 3 1 2 理[J].光谱学与光谱分析,2006,26(6):1176--1178. [3]汪涛.相位激光测距技术研究[J].激光与红外,2007, 37(1):29—31. 由实验数据可得,系统平均误差为±1.08 mm,测量精 度达到了激光测距仪本身标称的精度。表明测量精度未受 光学系统影响,同时,测距仪的量程大幅度减小,这是由于 [4] 魏学峰.手持式激光测距仪中高精度测相技术的研究[D]. 长沙:国防科学技术大学,2007:10--11. [5]杨洋,王宗和,高嵩.反射式光纤激光测距仪发射、接收 激光测距仪接收到的光功率减小造成的,这里的衰减主要 产生于透镜与光纤的耦合处,这一衰减可以通过增大透镜 的面积和在透镜与光纤间填充特殊液体等方式减小。 3结论 光学系统的设计与研制[J].承德石油高等专科学校学报, 2006,8(3):4—8. [6]何平安,李松,韩建中,等.基于无合作目标激光测仪的激 光液位测量系统[J].测绘信息与工程,2002,27(4):3-5. 本文分析了基于相位式激光测距的光纤传感器原理, 通过搭建实验平台进行了实验,证明激光测距仪的激光接 作者简介: 张小勇(1982一),男,山西忻州人,硕士研究生,主要从事新型 收回路经改造后依然能够实现精确、稳定的测量。这种传 p ≯ 传感器技术、自动检测装置及信号处理等研究。 (上接第46页) 定方法可以有效地弥补单站位标定方法带来的标定结果无 规律和被测点超出标定的区域时成像精度无规则变化的不 计[J].光电子技术与信息,2005(2):43-46. [4]邱茂林,马颂德,李 毅.计算机视觉中摄像机定标综 述[J].自动化学报,2000(1):43-55. [5]黄静,高晓东,马文礼,等.大面阵数字航测相机的精密几 足。但是,多站位的CCD相机的标定方法的工作量比单站 位时增加了很大,时间花费也过长,可以适当地减少影响较 何标定[J].光电工程,2006(2):138-140. [6]刘金国,李[7] 王杰,郝志航.三线阵CCD相机亚像元精度几何 标定方法研究[J].光电工程,2004(1):36—39. 小的区域;并考虑优化标定程序中的算法,进一步提高测量 精度。 参考文献: [1]段发阶,新,叶声华.CCD摄像机标定新技术[J].计量学 报,1997,18(4):296--298. 锋,周仁魁,杨小许,等.CCD摄像机图像中心两种标定 方法的应用研究[J].光子学报,2006(2):294--297. [8]郭军海,高耀文,沙定国.基于非线性最优化的摄像机标定方 法[J].飞行器测控学报,2oo5(1):17—21. [2]叶声华,王仲,曲兴华.精密测试技术展望[J].中国机械工 作者简介: 邹剑(1983一),男,江西南昌人,硕士,主要研究方向为视觉 程,2000,11(3):262-264. [3]孙长库,魏、 嵬,张效栋,等.CCD摄像机参数标定实验设 p ≯ 检测与图像处理。 (上接第49页) [5]Jorgenson R C.Surface plasmon resonance based bulk optic and m目optic sensors[D].Washington,University of Washington, 1993. [9] 曹振新,吴乐南,梁大开.金膜和银膜光纤SPR传感器[J]. 光子学报,2004(1O):1169--1171. [10]曹振新,吴乐南,王兴,等.光纤表面等离子体波传感器的理 论研究[J].东南大学学报:自然科学版,2oo4(5):582_584. [6] 曹振新,梁大开,郭明江.光纤表面等离子体波传感器中膜厚 与共振波长关系的实验研究[J].光学学报,2003,23(1): 125--128. [11]曹振新.利用SPR效应测定可见光波段金膜折射率[J].光子 学报,2008,37(8):1563--1565. [12]饶丰.光纤表面等离子体波共振传感器理论和设计[D]. [7 j Kretschmann E,Raether H.Radiative decay of non—radiative sur- face plasmons excited by light[J].Z.Natufforsch A,1968(23): 2135--2136. 南昌:江西师范大学,2007. [13]殷澄.表面等离子体共振理论与实验研究[D].南京:南京 理工大学,2007. , [8]Kroger E,Kretschmann E.Scattering of light by slight rough Sill'- 作者简介 : 孟庆民(1969一),男,山东临沂人,硕士,副教授,从事光纤传 感与信号处理方面的教学和科研工作。 faces or thin iflms including plasma resonance emission[J].z. Physik,1970(237):1--15. 

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