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专利名称：一种连续式磁控溅射装置专利类型：实用新型专利
发明人：刘冬,李曼,杨延远,孟红军,侯红明,韩照亮申请号：CN201920960188.2申请日：20190624公开号：CN210151214U公开日：20200317
摘要：本实用新型公开了一种连续式磁控溅射装置，包括外壳体，外壳体的底部设有抽真空管，外壳体的顶部设有导电板，导电板的顶端设有接线柱，接线柱的具有射频发生器，射频发生器与导电板电性连接，导电板的底部设有若干间隔排列的磁极端，磁极端的底部设有靶材板，靶材板侧面两端均设有挡板，挡板与外壳体通过螺栓固定连接，靶材板的底部设有翻转固定装置，翻转固定装置由压钳和电动机构成，压钳具有两组，分别设置于外壳体内侧面的两端，压钳的一侧设有转动轴，压钳与外壳体通过转动轴活动连接，具有能够自动进行基板翻面，实现基板双面的连续溅射作业，提高工作效率的优点。
申请人：山东天厚新材料科技有限公司
地址：274000 山东省菏泽市开发区黄河东路三里河社区南三里河工业园
国籍：CN
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