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专利名称：一种PERC太阳能电池的抛光刻蚀方法专利类型：发明专利
发明人：左,任金枝,朱信俊,李磊申请号：CN201710033048.6申请日：20170118公开号：CN106784161A公开日：20170531
摘要：本发明公开了一种PERC太阳能电池的抛光刻蚀方法，包括：步骤1、链式去硅片背面及边缘PSG；步骤2、槽式背面抛光刻蚀；步骤3、槽式RCA清洗；步骤4、槽式去PSG。本发明能够有效解决硅片EL不良的问题，大大降低电池的成品不良率。
申请人：常州捷佳创精密机械有限公司
地址：213000 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
国籍：CN
代理机构：深圳市康弘知识产权代理有限公司
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