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专利名称：掩模版的洁净装置和掩模版的洁净方法专利类型：发明专利发明人：俞芸
申请号：CN201010181409.X申请日：20100521公开号：CN1022479A公开日：20111123
摘要：本发明提供掩模版的洁净装置和掩模版的洁净方法。通过压缩气体源和真空泵，对所述洁净装置进行加压和减压，从而实现掩模版的清洗；并通过安全阀来保护所述洁净装置和所述掩模版。所述洁净方法，通过在短时间内对洁净装置加压和减压，在掩模版表面形成紊流，从而有效去除掩模版上的污染物。
申请人：上海微电子装备有限公司
地址：201203 上海市张东路1525号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
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