专利名称：用于形成金属氧化物薄膜的涂布液、金属氧化物薄
膜、场效应晶体管和制造场效应晶体管的方法
专利类型：发明专利
发明人：中村有希,植田尚之,安部由希子,曾根雄司申请号：CN201180066208.8申请日：20111122公开号：CN103339714A公开日：20131002
摘要：用于形成金属氧化物薄膜的涂布液，所述涂布液包含：无机铟化合物；无机镁化合物和无机锌化合物的至少一种；和二醇醚。
申请人：株式会社理光
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京市柳沈律师事务所
代理人：宋莉
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