专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种薄膜器件专利类型：实用新型专利发明人：不公告发明人申请号：CN202020391103.6申请日：20200325公开号：CN212770479U公开日：20210323
摘要：本实用新型公开了一种薄膜器件，包括依次层叠的基板、膜层组件、顶层电介质膜层和保护膜层，所述膜层组件包括沿基板向外依次层叠的电介质膜层、银膜层和牺牲膜层，或所述膜层组件包括沿基板向外依次层叠的电介质膜层、牺牲膜层和银膜层，所述膜层组件还包括GaMg界面膜层，所述GaMg界面膜层设置在银膜层与牺牲膜层之间和/或银膜层与电介质膜层之间。本实用新型可以提高膜系在高温热处理的稳定性，又可提高该薄膜器件的化学稳定性和改善其机械性能，且具有高的可见光透过率、低的电阻。
申请人：四川猛犸半导体科技有限公司
地址：4000 四川省宜宾市临港经开区长江北路西段附三段17号企业服务中心731室
国籍：CN
代理机构：厦门市精诚新创知识产权代理有限公司
代理人：方惠春
更多信息请下载全文后查看
