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专利名称：用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置专利类型：实用新型专利发明人：金炯,杨林,姜琼申请号：CN201820453267.X申请日：20180402公开号：CN208201095U公开日：20181207
摘要：本申请公开了一种用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置，包括设置在壳体内的坩埚、电热丝和热电偶，其特征在于：所述的热电偶设置在坩埚的底部，所述的坩埚上环形设置有第二孔，所述的电热丝通过第二孔绕在坩埚上，本申请具有以下特点:温度测量准确，使用寿命长，装置的集成度高。
申请人：杭州赛威斯真空技术有限公司
地址：310052 浙江省杭州市滨江区江虹南路60号2号楼
国籍：CN
代理机构：杭州天欣专利事务所(普通合伙)
代理人：陈红
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