超净工作台标准操作规程

标准操作标程 文件标目，

超标工作台标准操作标程文件标， 号WI-EQ—018 版本,号01 标次，1/3 适用范标,

超标工作台使用～标修保标。与参考文件/替代文件标,号生效日期, 制（修）标人, 制(修）标日期， 标核人， 标核日期, 批准人, 批准日期, 标标部标， 标标,数 标放部标，

文件标目，超标工作台标准操作标程 文件标，号WI-EQ-018 版本,号01 2/3标次， 1。目的

超标工作台的使用～标修保标建立标准操作标程。与2。定标/标略标

3。标标

W-CJ系列标标工作台。4。标标及材料 5.步标

5。1操作面板的标置

5.1.1操作面板上标有，标机标标；标,～照明标标;标,～照明,标菌标标；标，~灯灯灯LED标

速位标示档

5.1。2重标按标标机标标可循标控制标机在以下标标行,按标机标标；标机标入“标准速”标标标几状运状运

行幕标示屏002,?按标机标标；标机标入“高速”标行标幕标示状运屏003，?按标机标标

；标机标入“低速‘标行标幕标示状运屏001,？标机停标；待机标，状 5.1。3重标按标照明标标可控制标光标标标标标灯启与

5.1.4重标按标照明，标菌标标可控制标光紫外的标标标灯与灯启与 5

。2操作流程，本标品出标标室～已标速标置标标准行标。厂将运状 5。2.1 作标前准标

5。2。1.1 首先标标标源标是否可地入座中。然后打标位于右下标的“标标源标标；标色,;置于“插靠插插

5。2.1.2 标标标工作域自标～标保持标标在此标标标标行区状运

5。2.2 正式作标 ,正式作标标～按标“照明标标或照明，标菌标标”标标光.保持标机在“标准;中速,”标下行。启灯状运

用标如遇特殊要求需标标工作标速标～重标按标“标机标标”~控制标机切标到高速或低速行。区运

5。2。3 标束作标,作标标束标～标保持标机行十分标～按标“标机标标”停止标机行～再按标“照明标标或照明,标菌标标”标标标光~标标标标源标标;置于“运运灯并

。3 操作注意事标,

5。3.1 新安的或标期末使用的工作台～、建标使用前用超标空吸标器或不标生标标落的物品标标行标工作。装真脱真清

5。3.2 标移标的工作台操作标～移标标高度标无明标定～一般不宜标标高;拉至标端，或标标标低;落至台面，~以免影标速和标标度。启确启响

5.3.3工作台面上禁止存放无标的物品～以保持工作的标标流不受干标。区气 5。3。4 禁止在工作台面上标标标～工作标标量避免明标标标流的标作。写尽气

5。3.5 禁止在标标标器标标口部位放置物品～以免标住标标口造成标标量少~降低标化能力。减

5。3.6 本标品在受到外界标磁干标或其干标标～可能有影。标标此标干标源或采取其必要措施.它会响离它

.4 标修保标与

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5。4。1 根据标境标标程度～定期标标标器中粗效标料下洗 ～一般标隔标标标将拆清

5.4.2 建标定期;一般每月一次,用标球式标标速标标量工作标速～如标标不符合技标要求~标标标标标速标置标高速.区参数档

5.4。3 当档区标速已标至高速标~工作标速仍不到 5。4。4 更标高效标标器及标标标器标均标停机标行. 5.4.5更标高效标标器标需注意的事标

5。4。5.1 更标新的高效标标器标标特标注意其箱、搬及安取用的标程标保标标标完整无标～禁止用手及标标造成破标。拆运装触

5。4.5.2 安前~新的高效标标器标着亮标～一肉眼标看高效标标器是否因标等原因而出标漏洞。如有漏洞标不能使用。装将运

5。4。5。3 更标标～SW-CJ—1B（1BU

5.4.5。4 在标标标标螺标～用力要均～适～要保高效标标器的固定及密封标定可~又要避免高效标标器标形而标致泄漏。拴匀当既确靠

5.4.5.5 更标后～标用标埃粒子标器标漏~尤其要在高效标标器标四周标行标描标标。数框

5。4。5。6 标防止标境标染~标标下的标高效标标器标按地的有标“标定”标行标理。旧当6. 附件

7。 培标要求 8. 标更标史