具有多级毛细结构的微热管及其制备方法[发明专利]

(12)发明专利申请

(10)申请公布号 CN 111595188 A(43)申请公布日 2020.08.28

(21)申请号 202010494224.8(22)申请日 2020.06.03

(71)申请人 常州大学

地址 213000 江苏省常州市武进区湖塘镇

滆湖中路21号

申请人 江苏江南烯元石墨烯科技有限公司　

江南石墨烯研究院(72)发明人 许敬　弓晓晶　储富强　郭国标　(74)专利代理机构 常州市夏成专利事务所(普

通合伙) 32233

代理人 沈毅(51)Int.Cl.

F28D 15/04(2006.01)B23P 15/26(2006.01)

权利要求书1页 说明书7页 附图4页

CN 111595188 A(54)发明名称

具有多级毛细结构的微热管及其制备方法(57)摘要

本发明涉及微热管领域，尤其是具有多级毛细结构的微热管及其制备方法。该微热管包括铜管、金字塔毛细结构和毛絮结构，铜管内壁上阵列分布有金字塔毛细结构，金字塔毛细结构表面及相邻金字塔毛细结构之间的沟槽均分布有毛絮结构。本发明采用化学镀毛细结构的方法在微热管内表面形成多级毛细结构，此二级结构可以通过化学混合液的配比实现毛细结构的疏密度调节，可以加工出不同导热系数和毛细力的微热管。本发明中的多级毛细结构中金字塔毛细结构阵列的沟槽结构能够减小微热管内工质液体的回流阻力，毛絮结构能够提高毛细吸附力；三角形结构不会对管内壁产生应力，这种多级毛细结构不仅可以提高毛细吸附力，还能有效的提高微热管的散热性能。

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权　利　要　求　书

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1.一种具有多级毛细结构的微热管，其特征是，包括铜管（1）、金字塔毛细结构（2）和毛絮结构（3），铜管（1）内壁上阵列分布有金字塔毛细结构（2），金字塔毛细结构（2）表面及相邻金字塔毛细结构（2）之间的沟槽均分布有毛絮结构（3）。

2.根据权利要求1所述的具有多级毛细结构的微热管，其特征是，所述金字塔毛细结构（2）的高度为1-5μm，底宽为2-10μm，顶角为30-45°，腰长为20-32μm。

3.根据权利要求1所述的具有多级毛细结构的微热管，其特征是，所述毛絮结构（3）的长度为1.5-3.5μm，密度为0.05-0.08个/μm2。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的具有多级毛细结构的微热管的制备方法，其特征是，该制备方法的步骤为：

A、先用丙酮超声清洗铜板15-20min，再用乙醇超声清洗8-10min，除去残留的丙酮，然后用去离子水冲洗干净，最后在40℃的真空烘箱中干燥，完成铜板的清洗；

B、将清洗后的铜板固定在超精密飞切机床上，采用90°V形尖铣刀，设定好刀具切削深度并给定进给速度和主轴转速，沿一个方向切削形成沟槽排列结构，然后工作台变换90°，在另一个方向切出沟槽，在铜板上加工出金字塔毛细结构（2）的阵列；

C、再将加工出金字塔毛细结构（2）的铜板用丙酮、甲醇和异丙醇依次冲洗1min，然后用去离子水冲洗干净去除表面杂质和油污；用盐酸清洗铜板表面30-45s，除去表面的氧化铜膜，将铜板固定在玻璃板上，然后在室温下将铜板浸泡在氢氧化钠和高硫酸钾化学镀混合溶液中5-15min后取出，用去离子水冲洗干净后放入50℃烘箱中烘干，从而在金字塔毛细结构（2）表面形成了一层毛絮结构（3）；

D、接着将铜板切割成所需大小，再将覆有金字塔毛细结构（2）和毛絮结构（3）的一面向内卷曲成圆柱形或折成方形并用夹具夹持住，用精密激光焊接工艺将侧边及一端口封住；

E、将管体从未封口的一端向管内注入工质液体并抽真空，最后将管体内尚存的开口端以精密激光焊接方式封口。

5.根据权利要求4所述的具有多级毛细结构的微热管及其制备方法，其特征是，步骤C中，氢氧化钠和高硫酸钾的配比为0.9-2M：0.1M。

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具有多级毛细结构的微热管及其制备方法

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技术领域

[0001]本发明涉及微热管领域，尤其是具有多级毛细结构的微热管及其制备方法。背景技术

[0002]随着微电子技术的迅速发展，电子器件的密集化、微型化使得电子芯片的功耗越来越大，单位面积的发热量急剧升高。传统风冷、水冷散热已难以满足高效散热要求。因此，从某种意义上说，密集区间内高热通量的散热技术己成为制约电子产品的重要因素之一。为了满足人们的需求，微热管散热技术随之诞生。[0003]微热管是通过管内工质液的相变传热，尺寸小、导热性好是一种高效散热的可靠技术。热管一般由基管、吸液芯和工质液体组成，其中吸液芯是影响热管传热性能的关键。吸液芯的毛细结构加工方法主要有机械沟槽和粉末冶金法两种。机械沟槽加工的毛细结构虽然工质回流快，但是毛细吸附力小，受重力影响较大。粉末冶金的毛细结构孔间隙多，毛细力较强，但是使得热管重量增加了30%，且管内直径变小；并且热管后续的拍平、弯折处理会破坏毛细结构，使得冷凝段的工质无法迅速回流。发明内容

[0004]为了克服现有的热管散热效率低的不足，本发明提供了具有多级毛细结构的微热管及其制备方法。

[0005]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有多级毛细结构的微热管，包括铜管、金字塔毛细结构和毛絮结构，铜管内壁上阵列分布有金字塔毛细结构，金字塔毛细结构表面及相邻金字塔毛细结构之间的沟槽均分布有毛絮结构。[0006]根据本发明的另一个实施例，进一步包括所述金字塔毛细结构的高度为1-5μm，底宽为2-10μm，顶角为30-45°，腰长为20-32μm。[0007]根据本发明的另一个实施例，进一步包括所述毛絮结构的长度为1.5-3.5μm，密度为0.05-0.08个/μm2。

[0008]一种具有多级毛细结构的微热管的制备方法，该制备方法的步骤为：

A、先用丙酮超声清洗铜板15-20min，再用乙醇超声清洗8-10min，除去残留的丙酮，然后用去离子水冲洗干净，最后在40℃的真空烘箱中干燥，完成铜板的清洗；

B、将清洗后的铜板固定在超精密飞切机床上，采用90°V形尖铣刀，设定好刀具切削深度并给定进给速度和主轴转速，沿一个方向切削形成沟槽排列结构，然后工作台变换90°，在另一个方向切出沟槽，在铜板上加工出金字塔毛细结构的阵列；

C、再将加工出金字塔毛细结构的铜板用丙酮、甲醇和异丙醇依次冲洗1min，然后用去离子水冲洗干净去除表面杂质和油污；用盐酸清洗铜板表面30-45s，除去表面的氧化铜膜，将铜板固定在玻璃板上，然后在室温下将铜板浸泡在氢氧化钠和高硫酸钾化学镀混合溶液中5-15min后取出，用去离子水冲洗干净后放入50℃烘箱中烘干，从而在金字塔毛细结构表面形成了一层毛絮结构；

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D、接着将铜板切割成所需大小，再将覆有金字塔毛细结构和毛絮结构的一面向内卷曲成圆柱形或折成方形并用夹具夹持住，用精密激光焊接工艺将侧边及一端口封住；

E、将管体从未封口的一端向管内注入工质液体并抽真空，最后将管体内尚存的开口端以精密激光焊接方式封口。

[0009]根据本发明的另一个实施例，进一步包括步骤C中，氢氧化钠和高硫酸钾的配比为0.9-2M：0.1M。

[0010]本发明的有益效果是，本发明采用化学镀毛细结构的方法在微热管内表面形成多级毛细结构，此二级结构可以通过化学混合液的配比实现毛细结构的疏密度调节，可以加工出不同导热系数和毛细力的微热管。

[0011]本发明中的多级毛细结构中金字塔毛细结构阵列的沟槽结构能够减小微热管内工质液体的回流阻力，毛絮结构能够提高毛细吸附力；且将覆有多结构的平面卷曲或折弯后由于金字塔毛细结构的侧面斜三角形结构不会对管内壁产生应力，金字塔毛细结构表面上的毛絮结构由于卷曲后针尖相互交错，工质液体的流动不会带走表面结构，这种多级毛细结构不仅可以提高毛细吸附力，还能有效的提高微热管的散热性能。[0012]本发明在微热管内壁形成了微米级的交错结构和V形槽道，使得汽化的工质液体冷凝形核增多，可以在较低的过热度下进行沸腾换热，管内热通量大大提高。附图说明

[0013]下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。[0014]图1是发明的结构示意图；

图2是本发明的金字塔毛细结构的结构示意图；图3是本发明的毛絮结构的结构示意图；图4是本发明的接触角变化柱状图；

图5是本发明的热阻随输入功率的变化关系图；图6是本发明的蒸发段、中间段、冷凝段外壁面温度和没有多级结构的平板热管蒸发段、中间段、冷凝段随加热时间变化曲线图；

图7是本发明的金刚石V型尖铣刀的结构示意图；图中1. 铜管，2. 金字塔毛细结构，3. 毛絮结构。具体实施方式

[0015]图1是发明的结构示意图；图2是本发明的金字塔毛细结构的结构示意图；图3是本发明的毛絮结构的结构示意图；图4是本发明的接触角变化柱状图；图5是本发明的热阻随输入功率的变化关系图；图6是本发明的蒸发段、中间段、冷凝段外壁面温度和没有多级结构的平板热管蒸发段、中间段、冷凝段随加热时间变化曲线图；图7是本发明的金刚石V型尖铣刀的结构示意图。

[0016]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

结合附图1、附图2和附图3所示，一种具有多级毛细结构的微热管，包括铜管1、金字塔毛细结构2和毛絮结构3，铜管1内壁上阵列分布有金字塔毛细结构2，金字塔毛细结构2表面及相邻金字塔毛细结构2之间的沟槽均分布有毛絮结构3。

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结合附图4、附图5、附图6和附图7所示：实施例一：步骤1，用丙酮超声清洗0.5mm厚的铜板15min，再用乙醇超声清洗8min，除去残留的丙酮，然后用去离子水冲洗干净，最后在40℃的真空烘箱中干燥。

步骤2，将清洗干净后的铜板固定在超精密飞切机床工作台上，采用特制的90°V形尖铣刀，设定下刀深度5μm，进给速度500μm/s，主轴转速3000r/min，沿一个方向切削形成沟槽排列结构，然后工作台变换90°，在另一个方向切出沟槽，实现阵列排列的金字塔毛细结构2的制备。

[0018]步骤3，再铜板用丙酮、甲醇和异丙醇依次冲洗1min，然后用去离子水冲洗干净去除表面杂质和油污。用2M的HCl清洗样品表面30s，除去表面的氧化铜膜，将铜板固定在玻璃板上，然后在室温下将铜板浸泡在溶液配比为1M NaOH加0.1M 的K2S2O8的化学镀混合溶液中10min后取出，用去离子水冲洗干净后放入50℃烘箱中烘干，可在金字塔毛细结构2表面覆有一层毛絮结构3。[0019]步骤4，将铜板切割成2.5×25mm长方形，将覆有金字塔毛细结构2和毛絮结构3的一面向内卷曲成直径为0.4mm的圆柱形或折成方形并用夹具夹持住，用精密激光焊接工艺将侧边及一端口封住。[0020]步骤5，从未封口的一端向管内注入工质液体并抽真空，并将管体尚存的开口端以精密激光焊接方式封口。

[0021]上述步骤制得的微热管内金字塔毛细结构2的高度为5μm，底面宽度10μm，长边30.9μm，顶角30°。毛絮结构3长度2.5μm，密度0.076个/μm2；接触角为4°，该微热管热阻为0.9K/W,当量导热系数为1982.3W/K.m。[0022]实施例二：

步骤1，用丙酮超声清洗0.5mm厚的铜板15min，再用乙醇超声清洗8min，除去残留的丙酮，然后用去离子水冲洗干净，最后在40℃的真空烘箱中干燥。

步骤2，将清洗干净后的铜板固定在超精密飞切机床工作台上，采用特制的90°V形尖铣刀，设定下刀深度1μm，进给速度50μm/s，主轴转速1500r/min，沿一个方向切削形成沟槽排列结构，然后工作台变换90°，在另一个方向切出沟槽，实现实现阵列排列的金字塔毛细结构2的制备。

[0023]步骤3，再将铜板取下并用丙酮、甲醇和异丙醇依次冲洗1min，然后用去离子水冲洗干净去除表面杂质和油污。用2M的HCl清洗样品表面30s，除去表面的氧化铜膜，将铜板固定在玻璃板上，然后在室温下将铜板浸泡在溶液配比为1M NaOH加0.1M K2S2O8的化学镀混合溶液中10min后取出，用去离子水冲洗干净后放入50℃烘箱中烘干，可在金字塔毛细结构2表面覆有一层毛絮结构3。[0024]步骤4，将铜板切割成2.5×25mm长方形，将覆有金字塔毛细结构2和毛絮结构3的一面向内卷曲成直径为0.4mm的圆柱形或折成方形并用夹具夹持住，用精密激光焊接工艺将侧边及一端口封住。[0025]步骤5，从未封口的一端向管内注入工质液体并抽真空，并将管体尚存的开口端以精密激光焊接方式封口。

[0026]上述步骤制得的微热管内金字塔毛细结构2的高度为1μm，底面宽度12μm，长边

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20.9μm，顶角45°，毛絮结构3长度2.2μm，密度0.063个/μm2；接触角为15°,该微热管热阻为1.23K/W,当量导热系数为1674.4W/K.m。[0027]实施例三：

步骤1，用丙酮超声清洗0.5mm厚的铜板15min，再用乙醇超声清洗8min，除去残留的丙酮，然后用去离子水冲洗干净，最后在40℃的真空烘箱中干燥。

步骤2，将清洗干净后的铜板固定在超精密飞切机床工作台上，采用特制的90°V形尖铣刀，设定下刀深度5μm，进给速度500μm/s，主轴转速3000r/min，沿一个方向切削形成沟槽排列结构，然后工作台变换90°，在另一个方向切出沟槽，实现阵列排列的金字塔毛细结构2的制备。

[0028]步骤3，再将铜板取下并用丙酮、甲醇和异丙醇依次冲洗1min，然后用去离子水冲洗干净去除表面杂质和油污。用2M的HCl清洗样品表面30s，除去表面的氧化铜膜，将铜板固定在玻璃板上，然后在室温下将铜板浸泡在溶液配比为1M NaOH加0.1M K2S2O8的化学镀混合溶液中5min后取出，用去离子水冲洗干净后放入50℃烘箱中烘干，可在金字塔毛细结构2表面覆有一层毛絮结构3。[0029]步骤4，将铜板切割成2.5×25mm长方形，将覆有金字塔毛细结构2和毛絮结构3的一面向内卷曲成直径为0.4mm的圆柱形或折成方形并用夹具夹持住，用精密激光焊接工艺将侧边及一端口封住。[0030]步骤5，从未封口的一端向管内注入工质液体并抽真空，并将管体尚存的开口端以精密激光焊接方式封口。

[0031]上述步骤制得的微热管内金字塔毛细结构2的高度为5μm，底面宽度10μm，长边30.9μm，顶角30°，毛絮结构3的长度1.9μm，密度0.053个/μm2；接触角为17°，该微热管热阻为1.17K/W,当量导热系数为1598.3W/K.m。[0032]实施例四：

步骤1，用丙酮超声清洗0.5mm厚的铜板15min，再用乙醇超声清洗8min，除去残留的丙酮，然后用去离子水冲洗干净，最后在40℃的真空烘箱中干燥。

步骤2，将清洗干净后的铜板固定在超精密飞切机床工作台上，采用特制的90°V形尖铣刀，设定下刀深度5μm，进给速度500μm/s，主轴转速3000r/min，沿一个方向切削形成沟槽排列结构，然后工作台变换90°，在另一个方向切出沟槽，实现阵列排列的金字塔毛细结构2的制备。

[0033]步骤3，再将铜板取下并用丙酮、甲醇和异丙醇依次冲洗1min，然后用去离子水冲洗干净去除表面杂质和油污。用2M的HCl清洗样品表面30s，除去表面的氧化铜膜，将铜板固定在玻璃板上，然后在室温下将铜板浸泡在溶液配比为1M NaOH加0.1M K2S2O8的化学镀混合溶液中15min后取出，用去离子水冲洗干净后放入50℃烘箱中烘干，可在金字塔毛细结构2表面覆有一层毛絮结构3。[0034]步骤4，将铜板切割成2.5×25mm长方形，将覆有金字塔毛细结构2和毛絮结构3的一面向内卷曲成直径为0.4mm的圆柱形或折成方形并用夹具夹持住，用精密激光焊接工艺将侧边及一端口封住。[0035]步骤5，从未封口的一端向管内注入工质液体并抽真空，并将管体尚存的开口端以精密激光焊接方式封口。

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上述步骤制得的微热管内金字塔毛细结构2的高度为5μm，底面宽度10μm，长边

30.9μm，顶角30°，毛絮结构3的长度2.7μm，密度0.069个/μm2；接触角为9°，该微热管热阻为1.05K/W,当量导热系数为1875.7W/K.m。[0037]实施例五：

步骤1，用丙酮超声清洗0.5mm厚的铜板15min，再用乙醇超声清洗8min，除去残留的丙酮，然后用去离子水冲洗干净，最后在40℃的真空烘箱中干燥。

步骤2，将清洗干净后的铜板固定在超精密飞切机床工作台上，采用特制的90°V形尖铣刀，设定下刀深度5μm，进给速度500μm/s，主轴转速3000r/min，沿一个方向切削形成沟槽排列结构，然后工作台变换90°，在另一个方向切出沟槽，实现阵列排列的金字塔毛细结构2的制备。

[0038]步骤3，再将铜板取下并用丙酮、甲醇和异丙醇依次冲洗1min，然后用去离子水冲洗干净去除表面杂质和油污。用2M的HCl清洗样品表面30s，除去表面的氧化铜膜，将铜板固定在玻璃板上，然后在室温下将铜板浸泡在溶液配比为2M NaOH加0.1M K2S2O8的化学镀混合溶液中15min后取出，用去离子水冲洗干净后放入50℃烘箱中烘干，可在金字塔毛细结构2表面覆有一层毛絮结构3。[0039]步骤4，将铜板切割成2.5×25mm长方形，将覆有金字塔毛细结构2和毛絮结构3的一面向内卷曲成直径为0.4mm的圆柱形或折成方形并用夹具夹持住，用精密激光焊接工艺将侧边及一端口封住。[0040]步骤5，从未封口的一端向管内注入工质液体并抽真空，并将管体尚存的开口端以精密激光焊接方式封口。

[0041]上述步骤制得的微热管内金字塔毛细结构2的高度为5μm，底面宽度10μm，长边30.9μm，顶角30°，毛絮结构3的长度3.2μm，密度0.051个/μm2；接触角为25°，该微热管热阻为1.28K/W,当量导热系数为1118.4W/K.m。[0042]对照例一：

步骤1，用丙酮超声清洗0.5mm厚的铜板15min，再用乙醇超声清洗8min，除去残留的丙酮，然后用去离子水冲洗干净，最后在40℃的真空烘箱中干燥。

步骤2，再将铜板用2M的HCl清洗样品表面30s，除去表面的氧化铜膜，将铜板固定在玻璃板上，然后在室温下将铜板浸泡在溶液配比为1M NaOH加0.1M K2S2O8的化学镀混合溶液中10min后取出，用去离子水冲洗干净后放入50℃烘箱中烘干，可在铜板表面覆有一层毛絮结构3。

[0043]步骤3，将铜板切割成2.5×25mm长方形，将覆有毛絮结构3的一面向内卷曲成直径为0.4mm的圆柱形或折成方形并用夹具夹持住，用精密激光焊接工艺将侧边及一端口封住。[0044]步骤4，从未封口的一端向管内注入工质液体并抽真空，并将管体尚存的开口端以精密激光焊接方式封口。

[0045]上述步骤制得的微热管内毛絮结构3的长度2.5μm，密度0.073个/μm2；接触角为19°，该微热管热阻为1.15K/W,当量导热系数为1287.7W/K.m。[0046]对照例二：

步骤1，用丙酮超声清洗0.5mm厚的铜板15min，再用乙醇超声清洗8min，除去残留的丙酮，然后用去离子水冲洗干净，最后在40℃的真空烘箱中干燥。

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步骤2，将清洗干净后的铜板固定在超精密飞切机床工作台上，采用常规的球铣

刀，设定下刀深度5μm，进给速度500μm/s，主轴转速3000r/min，沿一个方向切削形成沟槽排列结构，然后工作台变换90°，在另一个方向切出沟槽，实现立方柱阵列结构的制备。[0048]步骤3，再将铜板取下并用丙酮、甲醇和异丙醇依次冲洗1min，然后用去离子水冲洗干净去除表面杂质和油污。用2M的HCl清洗样品表面30s，除去表面的氧化铜膜，将铜板固定在玻璃板上，然后在室温下将铜板浸泡在溶液配比为1M NaOH加0.1M K2S2O8的化学镀混合溶液中10min后取出，用去离子水冲洗干净后放入50℃烘箱中烘干，可在立方柱结构表面覆有一层毛絮结构3。[0049]步骤4，将铜板切割成2.5×25mm长方形，将覆有毛絮结构3和立方柱阵列结构的一面向内卷曲成直径为0.4mm的圆柱形或折成方形并用夹具夹持住，用精密激光焊接工艺将侧边及一端口封住。[0050]步骤5，从未封口的一端向管内注入工质液体并抽真空，并将管体尚存的开口端以精密激光焊接方式封口。

[0051]上述步骤制得的微热管内立方柱一级毛细结构高度为5μm，底面宽度5μm，毛絮结构3的长度2.3μm，密度0.070个/μm2；接触角为22°，该微热管热阻为1.3K/W,当量导热系数为1272.6W/K.m。[0052]对照例三：

步骤1，用丙酮超声清洗0.5mm厚的铜板15min，再用乙醇超声清洗8min，除去残留的丙酮，然后用去离子水冲洗干净，最后在40℃的真空烘箱中干燥。

步骤2，将清洗干净后的铜板固定在超精密飞切机床工作台上，采用特制的90°V形尖铣刀，设定下刀深度5μm，进给速度500μm/s，主轴转速3000r/min，沿一个方向切削形成沟槽排列结构，然后工作台变换90°，在另一个方向切出沟槽，实现阵列排列的金字塔毛细结构2的制备。

[0053]步骤3，再将铜板取下并用丙酮、甲醇和异丙醇依次冲洗1min，然后用去离子水冲洗干净去除表面杂质和油污。用2M的HCl清洗样品表面30s，除去表面的氧化铜膜，将铜板固定在玻璃板上，然后在5℃下将铜板浸泡在溶液配比为2.5M NaOH加0.1M (NH4)2S2O8的化学镀混合溶液中10min后取出，用去离子水冲洗干净后放入50℃烘箱中烘干，可在金字塔毛细结构2表面覆有一层氢氧化铜纳米结构。[0054]步骤4，将铜板切割成2.5×25mm长方形，将覆有金字塔毛细结构2和氢氧化铜纳米结构的一面向内卷曲成直径为0.4mm的圆柱形或折成方形并用夹具夹持住，用精密激光焊接工艺将侧边及一端口封住。[0055]步骤5，从未封口的一端向管内注入工质液体并抽真空，并将管体尚存的开口端以精密激光焊接方式封口。

[0056]上述步骤制得的微热管内金字塔毛细结构2的高度为5μm，底面宽度10μm，长边30.9μm，顶角30°，氢氧化铜纳米结构的长度1.5μm，密度0.052个/μm2；接触角为16°，该微热管热阻为1.13K/W,当量导热系数为1690.1W/K.m。[0057]对照例四：

步骤1，用丙酮超声清洗0.5mm厚的铜板15min，再用乙醇超声清洗8min，除去残留的丙酮，然后用去离子水冲洗干净，最后在40℃的真空烘箱中干燥。

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步骤2，将清洗干净后的铜板固定在超精密飞切机床工作台上，采用特制的90°V形

尖铣刀，设定下刀深度8μm，进给速度500μm/s，主轴转速3000r/min，沿一个方向切削形成沟槽排列结构，然后工作台变换90°，在另一个方向切出沟槽，实现阵列排列的金字塔毛细结构2的制备。

[0059]步骤3，再铜板取下并用丙酮、甲醇和异丙醇依次冲洗1min，然后用去离子水冲洗干净去除表面杂质和油污。用2M的HCl清洗样品表面30s，除去表面的氧化铜膜，将铜板固定在玻璃板上，然后在室温下将铜板浸泡在溶液配比为1M NaOH加0.1M K2S2O8的化学镀混合溶液中10min后取出，用去离子水冲洗干净后放入50℃烘箱中烘干，可在金字塔毛细结构2表面覆有一层毛絮结构3。[0060]步骤4，将铜板切割成2.5×25mm长方形，将覆有金字塔毛细结构2和毛絮结构3的一面向内卷曲成直径为0.4mm的圆柱形或折成方形并用夹具夹持住，用精密激光焊接工艺将侧边及一端口封住。[0061]步骤5，从未封口的一端向管内注入工质液体并抽真空，并将管体尚存的开口端以精密激光焊接方式封口。

[0062]上述步骤制得的微热管内金字塔毛细结构2的高度为8μm，底面宽度6μm，长边46.5μm，顶角15°，毛絮结构3的长度2.8μm，密度0.079个/μm2；接触角为23°，该微热管热阻为1.19K/W,当量导热系数为1257.5W/K.m。

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图7

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