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压制玻璃用模具的制造方法[发明专利]

来源：微智科技网

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号200480013548.4

[51]Int.CI.

C03B 11/00 (2006.01)B81C 1/00 (2006.01)

[43]公开日2006年6月21日[22]申请日2004.03.22[21]申请号200480013548.4

[30]优先权

[32]2003.05.22 [33]JP [31]144363/2003[86]国际申请PCT/JP2004/003861 2004.03.22[87]国际公布WO2004/103920 JA 2004.12.02[85]进入国家阶段日期

2005.11.18

[11]公开号CN 1791558A

[74]专利代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标

事务所

代理人陈昕

[71]申请人行人科学技术振兴机构

地址日本埼玉县[72]发明人田中秀治江刺正喜

权利要求书 1 页说明书 3 页附图 3 页

[54]发明名称

压制玻璃用模具的制造方法

[57]摘要

一种压制玻璃用模具的制造方法，其特征在于：将碳化硅堆积在硅模具的表面上，然后将堆积的碳化硅与碳化硅基板接合，接着通过蚀刻除去硅模具。此外，在该压制玻璃用模具的制造方法中，通过在堆积在硅模具的表面的该碳化硅与碳化硅基板之间插入金属薄膜，可以提高该碳化硅与该碳化硅基板之间的接合性。

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权利要求书

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1、一种压制玻璃用模具的制造方法，其特征在于：在硅模具的表面堆积碳

化硅，然后将堆积的碳化硅与碳化硅基板接合，接着通过蚀刻除去碳化硅模具。

2、如权利要求1所述的压制玻璃用模具的制造方法，其中在硅模具的表面

堆积的碳化硅与碳化硅基板之间插入金属薄膜。

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说明书

压制玻璃用模具的制造方法

第1/3页

技术领域

本发明涉及压制玻璃用模具的制造方法。更具体的说，本发明涉及能够制造表面粗糙度极小、且具有微细结构的压制玻璃用模具的压制玻璃用模具的制造方法。背景技术

玻璃在光学特性、温度稳定性、耐久性等方面显示出良好的特性。因此，高性能光学部件通常是玻璃制的。用于大量生产玻璃制光学部件的压制玻璃通常是在例如大于等于800℃的高温下进行的，因此在模具所使用的材料中，可以列举出使用高温强度以及化学稳定性优良的超硬材料或碳化硅作为候选材料。但是，超硬材料或碳化硅难以加工，一般仅能通过磨削进行加工。此外，尽管磨削适用于加工一定程度大小的球面或非球面，但是在细微结构的形成中却存在工具的尺寸、磨损等问题，因而不适合使用。

另一方面，作为树脂的成形方法，已知的有通过光刻法和蚀刻在硅上形成细微结构，然后将其用作模具通过热压或注射成形等进行转印的方法。但是，硅在大于等于600℃时就会发生蠕变，且富有反应性，因而并不适合作为压制玻璃模具材料。

本发明的发明人此前已经提出了制造碳化硅的微小结构体的方法(特开2001-139377号公报)。但是，通过该方法制造的碳化硅的微小结构体的表面粗糙，并不能用于玻璃制光学部件的模具。

本发明是鉴于上述问题而作出的，其课题在于提供一种能够制造表面粗糙度极小、具有细微结构的压制玻璃用模具的压制玻璃用模具的制造方法。作为解决上述课题的技术方案，本申请的第1项发明是提供了一种压制玻璃用模具的制造方法，其特征在于：在硅模具的表面堆积碳化硅，然后将堆积的碳化硅与碳化硅基板结合，接着通过蚀刻除去硅模具。

本申请的第2项发明是提供一种压制玻璃用模具的制造方法，其中在第1

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项的压制玻璃用模具的制造方法中，在硅模具的表面堆积了碳化硅与碳化硅基板之间插入金属薄膜。附图的简要说明

图1分别为简要表示本发明的压制玻璃用模具的制造方法的工序的剖面图。

图2为实施例所得到的碳化硅模具的表面的显微镜像。

图3为表示通过实施例所得到的碳化硅模具压制模具的样式的显微镜像。具有实施方式

下面，依据附图对本发明的压制玻璃用模具的制造方法进行更详细的说明。如图1所示，准备硅模具(1)。硅模具(1)是通过例如光刻、蚀刻等在单晶硅上制作细微结构而得到的，制成阴模。在制作该硅模具(1)时，通过应用IC加工技术，可以进行高清晰度且高精度、并且高自由度的细微加工。接着，如图1所示，在本发明的压制玻璃用模具的制造方法中，将碳化硅(SiC)(2)堆积在硅模具(1)上。在碳化硅(2)的堆积中，可以使用化学气相沉积法(CVD)。

如图1所示，可以研磨所堆积的碳化硅(2)的表面，使其平坦化。能够有效地提高与后述碳化硅基板的结合性。

此外，如图1所示，在本发明的压制玻璃用模具的制造方法中，可以通过溅射法等在碳化硅(2)的表面上形成金属薄膜(3)。该金属薄膜(3)具有作为与后述碳化硅基板的结合层的功能，能够有效地提高结合性。对金属薄膜(3)的材质并没有特别的限定，可以适当地选择。此外，也可以省略金属薄膜(3)。

并且，如图1所示，将碳化硅基板(4)与堆积的碳化硅(2)结合。结合可以通过固相结合来进行。如图1所示，当在碳化硅(2)的表面上形成了金属薄膜(3)时，金属薄膜(3)成为碳化硅(2)与碳化硅基板(4)之间的结合层。

最后，如图1所示，在本发明的压制玻璃用模具的制造方法中，通过蚀刻法除去硅模具(1)。在蚀刻过程中，可以使用各种溶液，例如氢氟酸与

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