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专利名称：一种高效研磨抛光加工装置专利类型：发明专利发明人：张欣
申请号：CN201610084984.5申请日：20160215公开号：CN1053433A公开日：20160608
摘要：本发明公开了一种高效研磨抛光加工装置，包括太阳轮、行星轮和内齿圈，所述行星轮中开设有载物孔，工件置于所述行星轮的载物孔内，所述行星轮分别与所述太阳轮和所述内齿圈相啮合。太阳轮、行星轮、内齿圈三者中至少有一个的节曲线不是正圆形，进而使行星轮中心在绕太阳轮中心公转的同时，沿径向移动，行星轮中心至太阳轮中心的距离e不再是恒量，而是研磨抛光时间t的函数，进而改善研磨抛光轨迹的分布均匀性，达到提高精密超精密研磨抛光加工精度和效率的目的。
申请人：张欣
地址：215163 江苏省苏州市科技城山湖湾3栋1605号
国籍：CN
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