助傲时杆‘年增刊卷靶材的微观结构分析邢朋飞‘,邢伟,王政红‘,张秀勤’,薛建强‘中国船舶重工集团公司第七二五研究所河南洛阳信阳师范学院物理电子工程学院河南信阳摘要犯材是信息产业极为重要的陶光材料犯材及七二五所研制的和压,其断口形貌见图对国内外的商业犯材的徽现结构进行了分析探讨了各厂家犯材的特点分析了目前粉界核先的犯材优点及我国生产的犯材产犯材与份界水平的差距为今后我国业的发展仅提供参考关抽佣中口分类号文章编号犯材徽观结构文狱标识码增刊图国产靶材的断口照片引盲厂家生产的靶材为热压烧结靶材从图薄膜具有高的导电性可见光透过性及良好的蚀刻加工性能广泛应用于液晶显示器太阳能电池和功能玻瑞等光电领城是一种应用前景非常广阔的可以看出”靶材结构致密几乎没有孔洞的存在“,断口为典型沿晶断裂晶粒间的结合仅仅是以烧结颐的方式存在结合较差产晶粒细小大部分位于薄膜一般采用磁控截射法靶材的性质对被膜的质至关重要要制备高性能的靶材具有超薄膜要求高密度高的导电性良好的强度以及良好的密度均匀光电功能材料目前工业上制备左右有很多细小的亚徽米顺粒甚至粒径为保持了原始粉末状态的小取粒同时也可以,看出其粒径分布范围很宽在至存在极个别尺寸达拜之间甚晶,拌以上的异常长大晶粒性及成份均匀性才能保证所制备的薄膜具有良好的导电性可见光透过率同时能够长时间大规模工一,业化生产粒之间的结合弱粒径分布宽存在异常长大的晶粒这些都会对靶材的强度产生很大的影响降低靶材的强度使戮射过程中结瘤倾向增加,‘把材的使用率靶材靶材是当今知识经济时代信息产业极为重要的肉瓷产品技术含降低,膜的性能变差,一〕高制备难度大目前靶材制备图为厂家生产的从图中可以的核心技术掌握在国外少数几家企业手中市场基本看出断裂方式与靶材一样为沿晶断裂结构致密晶粒之间的结合非常少烧结由日本韩国和台油垄断我国拥有丰富的锢资源其几乎没有徽孔的存在拌储藏所用居世界之首我国又是平面显示器生产大国但颈也是刚刚形成晶间结合非常弱晶较尺寸主体位于靶材全部依赖进口因此开发,们长期面临着低价出口左右同样存在少的细小晶粒但晶粒尺寸分布原料高价进口了巨大经济损失靶材的不利局面这给我国带来靶材制备技术具有相对比较均匀从上面的分析并结合所了解的情况生产的和厂家十分重要的惫义靶材均是采用压力烧结而成烧结过程中靶材的徽观组织对靶材的性能具有重要的影响的压力促进了气孔的排出烧结体的致密化同时抑制了晶粒的长大容易获得性能优异的靶材,本文对不同厂家生产靶材的徽观形貌相组成进行了分析试图通过对靶材徽观结构的分析探讨了目前各靶材的块点在于粒度分布过宽存在异常长大的晶粒这可能由于原料粉末的较度或者是烧结过程中的温度场压力场分布等原因造成的因此要提高靶材的质自靶材的特点及不足为我国展提供一些有价值的参考靶材产业今后的发必须国产把材的徽观结构分析国内从这些方面人手旧靶材虽然相对密度很高但是晶间结合较弱应当通过对工艺的进一步改进和提高应该靶材的生产厂家主要有威海蓝狐柳和株冶集团等少数几家企业通过对粉末的进一步精细化控制烧结工艺的进一步州华锡宁夏我们压完善提商靶材的综合性能挑选了两个厂家的靶材进行分析编号为收到稿件日期作音简介邢朋飞一通讯作者邢朋飞男河南灵宝人硕士工程师研究方向为纳米材料电子陶瓷邢朋飞等靶材的徽观结构分析「一一二丁一一一进口靶材的微观结构分析进口的靶材生产商主要有日本的日矿三井东曹住友金属同和矿冶等韩国的三星康宁以及一些来源于日本技术的靶材目前在国内市场占有率较高下面我们挑选具有代表性的国外两家靶材生产——一一二下万二一〕商的靶材样品编号冬珍对其端口形貌照衰及成份电阻率进行分析图是厂家生产的靶材的断口片在可以看出断口全部为穿晶断裂靶材的结构非常靶材的成份和电阻率平均成分电祖率一致密没有孔洞的存在晶粒较国内的靶材粗大尺寸井以内大部分的晶粒尺寸位于产之间元素粒度分布范围较窄靶材的断口烧结状态良好晶间结合非常好晶粒通过相互的扩散融合长大图是厂家生产的照片从图中可以看出两者的断口形貌非常类似全部为穿晶断裂烧结状态良好晶粒尺寸位于升丹所犯材一一拜以内高的结合强度和结构均匀从以上分析并结合我们的了解,,任和压靶性都有助于戮射过程中小结的控制降低溅射被膜的生产成本提高生产效率获得性能优异的材应该是采用常压烧结的方法制备结构致密均匀薄膜虽然其晶粒度比较大但粒度分布均匀结合良好使得靶材的强度得到了提高抑侧了截射过程中小结的,产生同时其相结构为单一的立方相成份控制合理在烧结过程中的分解较少因此其使用性能良好但是常压烧结制备的靶材晶较尺寸相对较大同时生产周期长能耗大是其不可进免的劣势七二五所靶材结构分析中船重工第七二五研究所在研制出高性能的图压靶材的断口珍照片合金粉的基础上从年开始进行靶材的研靶材方面制尝试了多种烧结方法目前在制备进展迅速已经取得了阶段性的成果制备出了尺寸相对密度达到的靶材成份及以上电阻率达图今电阻率方面已经与高端的进口靶材基本相当是七二五所制备的靶材的断口照片可之以看出与进口靶材的微观结构基本一样均为穿晶断裂结构致密晶粒之间结合非常好尺寸在图各即靶材的断口照片间粒度分布均匀馆二五所研制的通过上边的分析可以着出目前七任图靶材在相对密度徽观结构成份及是靶材的图谱从图中可以看出电阻率等方面已经达到了国际先进水平进口靶材的相组成均为单一的立方珑型的立方铁锰矿结构结构为典,靶材的成份见表靶材的成份尤其是失氧率是影响靶材性能的最主要指标之一对薄膜的电性能影响很大〔可以粉出成份与理论值基本一致肠理论值控制在较合理的范日之内,同图邝样从表电性能也可以看出靶材的电阻率非常低在’保证了所制备的薄腆其有优良的导七二五所制造的靶材的断口日照片啥妙助似时奸年增刊卷结语〕。。〕通过分析可以粉出目前国内的,靶材制备技术总体上与国际先进水平仍然有很大的差距但是通过国内众多企业和科研单位的努力目前正在飞速发【张维佳王天民康璐〕稀有金属材料与工程展可以相信在不久的将来我国步人国际先进行业参考文献山‘靶材产业必将〔」李晓杰张越举王金相〔〕材料科学与工程学报孔伟华无机材料学报【〕姚吉升店三川陈坚真空科学与技术〔〕〔〕大桥健夫熊原吉一姻拐暇化物派射犯〔一峰付晓旭【〕电子显徽学报”【〕许德关李们。一‘,,,一,,一‘,‘”垃雌“岭而啥邓’馆绍山,堪,仔恤招时创。,时邝
