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专利名称：工艺腔室、生产设备以及工艺控制方法专利类型：发明专利发明人：吴振,马静霞,王晓尉申请号：CN201810482466.8申请日：20180518公开号：CN110499498A公开日：20191126
摘要：本发明是关于一种工艺腔室、生产设备以及工艺控制方法。该工艺腔室包括腔体与至少一个观察窗，所述工艺腔室还包括截止组件；所述截止组件用于使得所述至少一个观察窗与所述腔体内部阻隔或连通。该技术方案中，在工艺腔室采用LPCVD工艺进行膜层沉积时，截止组件可以阻隔观察窗与腔体内部环境，避免了化学物质对观察窗的污染，提高了观察窗的使用寿命；在工艺腔室完成LPCVD工艺之后，截止组件可以连通观察窗与腔体内部，便于用户通过观察窗观察工艺腔室的工艺进程，提高了用户体验。
申请人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
地址：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
国籍：CN
代理机构：北京尚伦律师事务所
代理人：白瑶君
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