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一种会聚光路偏振干涉面型偏差检测装置及其方法[发明专利]

来源:微智科技网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种会聚光路偏振干涉面型偏差检测装置及其方法专利类型:发明专利

发明人:王敏,黄德炜,王芬,林峰申请号:CN201510371432.8申请日:20150630公开号:CN104976965A公开日:20151014

摘要:本发明涉及一种会聚光路偏振干涉面型偏差检测装置及其方法,装置包括偏振分束器,偏振分束器正下方的固定的聚光标准镜、激光扩束镜、激光光源,偏振分束器和检测激光光源之间设置的起偏器、偏振分束器正右方的次第固定有第一1/4波片及待测镜片、偏振分束器正左方的定位固定有接收屏,偏振分束器正左方设置有检偏器、偏振分束器正上方的定位固定有第二1/4波片、光学样板,利用该装置采用偏振干涉的方法,可使两相干光束有近似相等的光强,条纹亮度可以调节,能够抑制杂散光等光学噪声的影响,得到对比度高的干涉条纹,减少后期图像处理的误差,提高镜片检测的精度,使得光能被最大限度的利用,消除背景杂散光,提涉条纹的对比度。

申请人:福建师范大学

地址:350007 福建省福州市仓山区上三路8号

国籍:CN

代理机构:福州元创专利商标代理有限公司

代理人:蔡学俊

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