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专利名称：小型化W波段MEMS缝隙波导带通滤波器专利类型：发明专利
发明人：施永荣,张君直,周明,王继财申请号：CN201810580657.8申请日：20180607公开号：CN108832242A公开日：20181116
摘要：本发明公开了一种小型化W波段MEMS缝隙波导带通滤波器，包括顶层硅晶圆片和底层硅晶圆片，顶层硅晶圆片和/或底层硅晶圆片上用MEMS工艺刻蚀后电镀形成缝隙波导结构，缝隙波导结构内部形成级联耦合谐振腔，顶层硅晶圆片和/或底层硅晶圆片上还刻蚀有耦合窗。本发明基于MEMS缝隙波导理念设计出的滤波器具有小型化、轻量化、低插损、频偏小、适合大规模批量化生产的优点，弥补了缝隙波导带通滤波器在W波段的应用空白，且所提出的MEMS缝隙波导带通滤波器可以作为W波段表贴类元器件，通过和平面传输线的耦合，提高W波段系统的集成度，具有极高的工程应用价值。
申请人：中国电子科技集团公司第五十五研究所
地址：210016 江苏省南京市秦淮区中山东路524号
国籍：CN
代理机构：南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人：饶欣
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