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专利名称:一种直驱式运动解耦的高精度伺服平台专利类型:发明专利
发明人:闫鹏,刘鹏博,张震,王鹏申请号:CN201210519763.8申请日:20121207公开号:CN103021473A公开日:20130403
摘要:本发明具体公开了一种直驱式运动解耦的高精度伺服平台,包括基座、下层平台、第一导轨、上层平台、第二导轨、所述的第一导轨固定于基座上,下层平台沿第一导轨滑动,所述的第二导轨固定在下层平台上,上层平台沿第一导轨滑动,还包括第一音圈电机、滑块、滑轨和第二音圈电机,所述的滑轨设于上层平台的一端,且滑轨上设有自由滑动的滑块,滑块与第二音圈电机的动子连接;所述的第一音圈电机的动子与下层平台的一端固定连接;所述的两个音圈电机的定子均固定在固定板上,所述的下层平台和第二音圈电机上分别设有位移传感器。
申请人:山东大学
地址:250061 山东省济南市历下区经十路17923号
国籍:CN
代理机构:济南圣达知识产权代理有限公司
代理人:郑华清
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