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专利名称：重载荷柔性支撑装置专利类型：发明专利发明人：王璟,王茜,季采云申请号：CN201310103211.3申请日：20130327公开号：CN104076612A公开日：20141001
摘要：本发明公开了一种重载荷柔性支撑装置，包括三组柔性机构，三组柔性机构支撑物镜并呈等腰三角形布置在主基板上。柔性机构包括：顶部横梁和两条侧面竖梁，顶部横梁的两端分别与对称设置的两侧面竖梁相连；顶部横梁上分别设有至少一组中心轴为Y向的第一柔性铰链和至少一组中心轴为Z向的第二柔性铰链，第一柔性铰链靠近所述顶部横梁的中心，第二柔性铰链靠近侧面竖梁；所述侧面竖梁上设有至少一组中心轴为X向的第三柔性铰链；所述第一、第二和第三柔性铰链统称为柔性铰链。物镜采用3组相同的柔性机构支撑在主基板上，使得整体前六阶模态频率低于30Hz，起到了振动隔离的作用，提高了物镜曝光的稳定性，降低因结构振动导致的成像短期误差。
申请人：上海微电子装备有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张东路1525号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
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