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专利名称：一种键合头装置及键合机专利类型：发明专利发明人：胡健炜,李焕然申请号：CN202111608286.8申请日：20211224公开号：CN114388407A公开日：20220422
摘要：本发明提供一种键合头装置及键合机，所述键合头装置包括相对设置的固定杆和键合杆、设置在所述固定杆和所述键合杆之间的连杆组件，以及设置在所述连杆组件上的压电组件和设置在所述键合杆一端的劈刀。所述连杆组件包括相对并成一定角度设置的第一连杆和第二连杆，所述第一连杆和所述第二连杆在所述固定杆上的间距大于所述第一连杆和所述第二连杆在所述键合杆上的间距。所述键合杆通过所述连杆组件相对所述固定杆进行摆动，所述压电组件包括粘贴在所述连杆组件的至少两个压电片。本发明提供的键合头装置及键合机使得键合头装置能够获得更高的转动速度，能够实现高速、高精度的大范围绑定，可以进行大范围的键合作业。
申请人：凌波微步半导体设备(常熟)有限公司
地址：215500 江苏省苏州市常熟市东南街道香江路60号6幢
国籍：CN
代理机构：深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：谢松
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