（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201711484788.8 （22）申请日 2017.12.29
（71）申请人 上海新阳半导体材料股份有限公司
地址 201616 上海市松江区思贤路3600号
（10）申请公布号 CN108004575A
（43）申请公布日 2018.05.08
（72）发明人 王振荣;黄利松;刘红兵 （74）专利代理机构 上海脱颖律师事务所
代理人 李强
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
电镀用屏蔽装置
（57）摘要
本发明公开了一种电镀用屏蔽装置，包
括：阴极屏蔽板和阳极屏蔽板，阴极屏蔽板和阳极屏蔽板间隔设置，阳极屏蔽板上设有若干第一通孔，阴极屏蔽板上设有若干第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置，使得电力线可自所述第一通孔穿过并穿过所述第二通孔。本发明能够控制电力线的走向，提高晶圆电镀的效率。
法律状态
法律状态公告日
2018-05-08 2018-05-08 2018-06-01
公开 公开
法律状态信息
公开 公开
法律状态
实质审查的生效 实质审查的生效
权利要求说明书
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说明书
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