专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：感光性树脂组合物、感光性干膜和图案形成方法专利类型：发明专利
发明人：平野祯典,菅生道博,浅井聪,五井孝浩申请号：CN201911315425.0申请日：20191219公开号：CN111338181A公开日：20200626
摘要：本发明提供感光性树脂组合物、感光性干膜和图案形成方法。包含以下的感光性树脂组合物具有改进的膜性质：含有硅亚苯基骨架和芴骨架并且在分子内具有可交联位点的聚合物，Mw为300‑10,000的酚化合物，光致产酸剂，和苯并或咪唑化合物。即使由厚膜，也可形成细微尺寸图案。
申请人：信越化学工业株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：刘强
更多信息请下载全文后查看
