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专利名称：清洗方法及清洗装置专利类型：发明专利
发明人：入江庸介,森田清之,铃木正明,足立明久,桥本雅彦申请号：CN03811605.7申请日：20030512公开号：CN1655883A公开日：20050817
摘要：通过用液化气体或超临界流体清洗介质清洗具有凹部构造的部件来提高清洗效果。在去除附着在具有凹部构造的部件(31)的至少上述凹部构造表面的附着物的清洗方法中，使用超临界气体或液化气体使清洗介质不遍布在上述凹部构造表面来进行清洗。
申请人：松下电器产业株式会社
地址：日本大阪府
国籍：JP
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：汪惠民
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