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专利名称：六自由度精密定位工作台专利类型：发明专利
发明人：王勇,刘志刚,薄锋,朱健强申请号：CN200510024300.4申请日：20050310公开号：CN1669744A公开日：20050921
摘要：一种六自由度精密定位工作台，它由上下两层平台连接而成，其中下层平台由两组双平行板式柔性铰链作为导向机构，采用三组驱动单元实现两个方向的平动和一个方向的转动。上层平台与下层平台的运动平台部分连接，采用三组等边三角形布置的驱动单元和球面副柔性铰链实现一个方向的平动和两个方向的转动。驱动单元采用压电陶瓷致动器，使位移输出分辨率和定位精度高，频率响应快，无机械摩擦，且机构定位可以实现补偿。本发明可实现纳米级的定位精度。
申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所
地址：201800 上海市800-211邮政信箱
国籍：CN
代理机构：上海新天专利代理有限公司
代理人：张泽纯
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