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专利名称：晶圆贴膜机专利类型：发明专利发明人：程彦,张成宣,胡丽兰申请号：CN202010586737.1申请日：20200624公开号：CN111739821A公开日：20201002
摘要：本申请公开了一种晶圆贴膜机，包括工作台、贴膜台、压膜装置、压膜滑动驱动机构、剥膜装置、剥膜滑动驱动机构、放膜装置、收卷膜装置、送料装置，以及切膜装置。送料装置将晶圆输送至贴膜台上，放膜装置将保护膜输送至压膜台的上方，压膜滑动驱动机构带动压膜装置滑动至贴膜台的上方，压膜压膜装置将保护膜压紧于晶圆的表面，使得保护膜贴附于晶圆上。然后切膜装置动作，对晶圆的边缘处的保护膜进行切割，将未与晶圆粘接的保护膜切出形成废膜，此时废膜任粘接于贴膜台的暴露位置，然后剥膜装置将废膜夹住，剥膜滑动驱动机构带动剥膜装置移动的过程中，将废膜从贴膜台上拉离，剥膜装置解除对废膜的夹紧，收卷膜装置将废膜收卷，完成贴膜。
申请人：东莞思沃智能装备有限公司
地址：523000 广东省东莞市松山湖园区研发一路1号103房
国籍：CN
代理机构：深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人：李金伟
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