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专利名称：带有再循环致冷剂的温度控制设备和方法专利类型：发明专利发明人：B·J·施龙,W·G·里德申请号：CN94115791.1申请日：19940826公开号：CN1119731A公开日：19960403
摘要：用于把工作站和在工作站的工作介质的温度调节到预定温度的温度控制器和方法。该温度控制器包括一个诸如热交换器的冷却器、一个致冷剂温度检测器和控制器、一个诸如导管的流体致冷剂源、一个再循环泵、一个用于将致冷剂循环到工作站的流动管线——该流动管线包含一个流量调节器和一个加热器、一个用于对该流量调节器和加热器进行旁路的旁路阀以及一个工作站温度检测器和控制器。
申请人：FSI国际有限公司
地址：美国明尼苏达州
国籍：US
代理机构：中国专利代理()有限公司
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