超纯石英玻璃的制备方法

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201610019268.9 （22）申请日 2016.01.12

（71）申请人 中国建筑材料科学研究总院

地址 100024 北京市朝阳区管庄东里1号

（10）申请公布号 CN1055027B

（43）申请公布日 2018.08.24

（72）发明人 孙元成;宋学富;杜秀蓉;张晓强;王慧

（74）专利代理机构 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人 王伟锋

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

超纯石英玻璃的制备方法

（57）摘要

本发明是关于一种超纯石英玻璃的制

备方法，采用化学气相沉积工艺，使用电感耦合等离子体火焰作为热源，以空气和氩气的混合气体作为等离子体电离气体，以含硅化合物为原料，以氧气与氦气的混合气体作为载料气体,所述载料气体携带气化的上述含硅原料通过加料器通入分段保温式沉积炉中发生反应,生成二氧化硅颗粒，沉积在石英玻璃基体上，随着沉积面的生长，降低石英玻璃基体以保持沉积面高度不变，逐渐形成石英玻璃块体。本发明石英玻璃的制备方法沉

积速率可达180g/h，得到的石英玻璃羟基含量小于1ppm，金属杂质含量小于1ppm，直径在200mm以上，光学均匀性高，无气泡、杂点、条纹等缺陷。 法律状态

法律状态公告日

2016-04-20 2016-04-20 2016-05-18 2016-05-18 2018-08-24

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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