专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种多功能渗炉及渗镀镀膜一体化方法专利类型：发明专利
发明人：林育周,罗建东,侯庆海,刘正义,张克来申请号：CN201510078227.2申请日：20150213公开号：CN104674216A公开日：20150603
摘要：本发明涉及渗炉及渗镀镀膜一体化方法，所述渗炉包括上炉体和下炉体、机架、电控组件、温控组件、水循环组件及真空供应组件，上炉体内绝缘固定有渗金属源极及镀膜阴极，渗金属源极上设置有多组渗金属靶，镀膜阴极设置有多组镀膜靶，下炉体内绝缘固定有渗镀阴极，渗镀阴极上设置有多组用于安装待渗透材料的工件架，电控组件包括渗镀阴极电源、镀膜电源及渗镀源极电源，贯穿渗炉主体还设置有温度探测器，氩气管接口和炉内真空管接口，所述渗镀镀膜一体化方法包括离子氮化-渗金属同步复合渗、高真空渗金属处理及高真空镀膜处理等步骤；利用本发明可以实现在一个炉内可以进行低真空离子氮化-渗金属同步复合渗、高真空渗金属、高真空离子镀膜的功能。
申请人：深圳市华宇发真空离子技术有限公司
地址：518117 广东省深圳市龙岗区金水桥工业区誉隆街12号
国籍：CN
代理机构：广州新诺专利商标事务所有限公司
代理人：许勇
更多信息请下载全文后查看
