一氯三氢硅（ClSiH3）是一种化学物质，沸点为-30.4℃，密度为1.145g/cm³。它是一种无色透明有强烈刺激性气味的气体，极易水解，水解后生成氯化氢和氢气。在二氯硅烷生产中，一氯三氢硅常作为副产物或中间物出现。
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