硅片制绒清洗机用反应腐蚀槽

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201720606099.9 （22）申请日 2017.05.26

（71）申请人 常州市杰洋精密机械有限公司

地址 213000 江苏省常州市新北区黄河西路226号

（10）申请公布号 CN207002874U

（43）申请公布日 2018.02.13

（72）发明人 王辉

（74）专利代理机构 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)

代理人 郑云

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

硅片制绒清洗机用反应腐蚀槽

（57）摘要

本实用新型提供了一种硅片制绒清洗机用

反应腐蚀槽，包括药水槽体，药水槽体上具有开合门板；药水槽体内侧面固定有可感应内部药液高度的浮止液位计；药水槽体两侧还分别具有多孔的抽液板，抽液板外则固定抽液回收槽，抽液回收槽与外部抽液泵和药液回收管管路连接；药水槽体底部开有槽口且槽口处固定有多孔的进液板，进液板下端固定有与外部药液泵连通的进液槽；进液板上方药水槽体内架设有花篮；进液板

与花篮之间架设有加热器，加热器下方架设有缓流挡板，缓流挡板与药水槽体底部通过支撑架固定连接。本实用新型可有效减缓从充进液槽冲入药业的流速，可均匀分散药液，保证在花篮处药水的液面平稳，使硅片制绒更为均匀，提高并稳定产品质量。

法律状态

法律状态公告日2018-02-13

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授权

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说明书

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