法律分析：集体土地厂房征收进行补偿如下：
1、房屋拆迁费，要按厂房的标准给予补偿，标准各地不一，不能按农房的标准，如果没有房产证，也要争取参照厂房或是靠近厂房标准；
2、构附着着物补偿费，包括地坝、水池、植物等；
3、设备折旧处理，厂房内不能搬迁的设备、设施作折旧处理补偿；
4、搬迁费，包括可以移动的设备等；
5、如果有合法手续，可以通过与谈判，争取更大的补偿。
一、集体土地房屋征收流程如下：
1、发布拟征地公告；
2、征询村集体经济组织和农民的意见；
3、地籍调查和地上附着物登记；
4、拟订一书四方案组卷上报审批；
5、发布征收土地公告。市、县在收到征地批准书后，将批准书有关内容，在被征用土地所在地乡、村予以公告；
6、进行征地补偿登记，征地补偿安置方案制订、公告、听取意见并修改；
7、征地补偿安置方案报批，征地补偿安置方案批准；
8、补偿安置方案的具体实施，批准后由市、县土地行政主管部门组织实施。征收土地的各项费用应当自征地补偿、安置方案批准之日起3个月内全额支付。
二、集体土地包括的范围如下：
1、集体土地所有权的确认，农民集体所有的土地，由县级登记造册，核发证书，确认所有权；
2、集体土地的征收和征用，国家为了公共利益的需要，可以依照法律规定对土地实行征收或者征用并给予补偿；
3、集体所有的土地可以由集体或者个人承包经营，从事农林牧渔生产；
4、在集体土地的经营管理方面，由村集体经济组织或者村民委员会经营、管理。
总的来说，在进行补偿的时候，不仅需要对于房屋进行补偿，还需要对搬迁费包括可以移动的设备、厂房内的其他设施搬迁费用等进行补偿。
法律依据：《中华人民共和国土地管理法》
第 在保护和开发土地资源、合理利用土地以及进行有关的科学研究等方面成绩显著的单位和个人，由给予奖励。
