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专利名称：一种光束微动调整装置专利类型：实用新型专利
发明人：石涛,江浩,杨小君,王成勇,王海波,王宏建申请号：CN2017211627.6申请日：20171228公开号：CN2078733U公开日：20180918
摘要：本实用新型提供了一种光束微动调整装置，其包括第一摆镜模块和第二摆镜模块，在光束沿Z向入射穿过镜片，通过第一摆镜模块可调整光束Y向位置，通过第二摆镜模块可调整光束X向位置，从而实现光束在X‑Y平面的定位。所述光束微动调整装置结构紧凑，操作方便且实用性强，能够实现光束在微小的尺寸范围内沿平面进行平移。在调整光斑在X‑Y平面位置时，保证了光束与Z轴的平行关系不生变化，避免了调整光斑工作位置时的反复操作。
申请人：西安中科微精光子制造科技有限公司,广东工业大学
地址：710119 陕西省西安市高新区西部大道60号11号楼201室
国籍：CN
代理机构：深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：赵勍毅
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