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专利名称：高功率脉冲磁控溅射电源专利类型：实用新型专利发明人：窦久存
申请号：CN201520154993.8申请日：20150319公开号：CN204442196U公开日：20150701
摘要：高功率脉冲磁控溅射电源其特征在于：该装置包括顺序连接的直流电源电路、电容组、脉冲发生电路；所述直流电源电路和脉冲发生电路分别与PWM控制电路连接。本实用新型由于采用以上技术方案，在保证4个IGBT导通和关断控制时间上相同的情况下，脉冲生成电路可在高电压下开启和关断，满足高功率脉冲磁控技术的输出高电压和大电流的要求，具有性能稳定、成本较低、安全可靠运行等优点。
申请人：唐山标先电子有限公司
地址：0202 河北省唐山市遵化市新店子镇马店子村西
国籍：CN
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