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专利名称：一种带电粒子束诊断装置及诊断测量方法专利类型：发明专利
发明人：史钰峰,赵小利,邵思霈,胡慧君,孙书坤申请号：CN201710481181.8申请日：20170622公开号：CN107450094A公开日：20171208
摘要：本发明公开了一种带电粒子束诊断装置及诊断测量方法，采用法拉第筒、栅网电极、MCP探测系统有机结合的形式，实现了大动态范围带电粒子束源参数的诊断，包括带电粒子的能谱、绝对流量、准直度、均匀度的同时测量；采用三层平行栅网的设计，通过改变中间栅网的电压来选择带电粒子的能量，两端栅网接地使栅网之间形成均匀的加减速电场，并且两端栅网对变化的电场进行有效屏蔽，不会影响其他设备的电磁特性；采用法拉第内筒底部的小孔设计，使其对绝对束流强度的测量影响很小，而且大大较低束流强度，便于后续MCP探测系统对带电粒子进行计数测量。
申请人：山东航天电子技术研究所
地址：2003 山东省烟台市高新区航天路513号
国籍：CN
代理机构：北京理工大学专利中心
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