TFC膜系设计实例教程

TFC膜系设计实例教程

TFC膜系实例设计步骤（首先以AR膜三层为例介绍）

1． 首选镀膜材料：AL2O3 ZRO2 MGF2

2． AR膜技术要求：400------700 R〈1

3． 运行TFC软件(如图1)，选择“取消”按钮，如要打开已设计好的膜系文件，可按“打开”来调用文

件。图1

4． 在File菜单中选择New Coating选项（如图2）。

图2

5． 进入环境编辑界面（Edit Environment）如图3

图3

6.在环境编辑界面中，第一项为监控波长（Reference wavelength）,默认设制为550（图3）。如果设计400-700波段的AR的话，就可以用这个设制。如要设计红外波段的话，那就要改大点。设好后，点击Analysis Parameters….项，进入下一个波段的设制界面（Set Analysis Parameters）。（如图4）

图4

6． 在Set Analysis Parameters界面中选Wavelengths and Angles设计波段范围，在第一个输入框里输入起始波段400，

第二输入框里输入结束波段700，第三个输入框里的为步长，可以不改，其它的不动（如图4）。输入完成后，按

“OK”键确认，返回到如图3的界面，再按“OK”键，进入设计界面（如图5）

图5

7.在Modify菜单中选Layers—Front(如图6)，然后进入添加膜层。（如图7）

图6

图7

7． 选择Options Front Layers…..,添加层数，如图7，在弹出的输入框的第一个中输入3代表3层，如图8

图8

8． 然后点“OK”，进入，出现如图9的画面。

图9

9． 现在把Material(材料)项中的，改成你所要的材料AL2O3 ZRO2 MGF2，把Optimize?(优化否)项中的NO，全部改为YES（如图10）

图10

10.选择Modify菜单中的Targets—continuous项来设定优化目标（如图11）

图11

11． 选择Options中的Add Continuous targets….(如图12)，点击进入，如果是创建一个优化目标的话

就不用改，如果要创建几个优化目标的话，就在第一个输入框中输入几。如图13

图12

图13

12． 如图14，在Wavelength(begin)(起始波长)处输入400，在Wavelength(end)（结束波长）处输入700

其它不要动。

图14

13．完成后，选Run菜单的Optimize Design选项进行优化，如图15

图15

14．优化界面如图16

图16

15．优化完成后，点击Analyze查看优化后的曲线，如图17

图17

16．好了，这个AR的膜系已设计完成了，要查看每层的物理厚度，可以打开菜单Modify中选Layers—Front

如图18

图18

17．763．4 120.09 90.83 就是我们优化后的厚度了

具体优化操作请看,视频实例优化