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专利名称:石墨舟冷却卸片推车专利类型:实用新型专利发明人:孙良欣,胡盛华,李卫平申请号:CN201120523770.6申请日:20111214公开号:CN202429226U公开日:20120912
摘要:石墨舟冷却卸片推车,涉及太阳能电池PECVD工序硅片的卸取,具体涉及一种带有硅片冷却的卸片推车,主要由一个总体钢质支架5,通过一个固定支架4将石墨舟支撑板将石墨舟支撑板2连接为一个整体,在石墨舟支撑板下固定有四个冷却装置3,在卸片台的最顶端安装有花篮支架1用于卸片使用。结构简单,操作方便,可以在卸片的同时,对硅片进行冷却,减少流转时间,并能有效的节省空间。
申请人:霞浦吉阳新能源有限公司
地址:355100 福建省宁德市霞浦县松港街道江边溪前村
国籍:CN
代理机构:北京市商泰律师事务所
代理人:毛燕生
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