专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：铟镓锌氧化物及其制法与应用专利类型：发明专利
发明人：张育纶,林弘巾,林婉华,苏百樱,王圣棻申请号：CN2012101088.5申请日：20120413公开号：CN103373845A公开日：20131030
摘要：本发明提供一种铟镓锌氧化物的制作方法，其是先混合含铟、镓及锌的原料，经过干燥、煅烧等步骤，制作出均匀且高纯度的铟镓锌氧化物。此外，本发明另提供一种用以制作铟镓锌氧化物靶材的组成物，其为含有多元金属氧化物的混合物，尤其包含所述制作方法所制得的铟镓锌氧化物。再者，本发明还提供一种使用所述铟镓锌氧化物制作铟镓锌氧化物靶材的方法及其成品，其靶材中主要是以InGaZnO为主，而实质上不具有ZnGaO。本发明使用IGZO作为制作IGZO靶材的原料，由此减少原料间不均匀的混合，制得高质量与高相对密度的IGZO靶材。
申请人：光洋应用材料科技股份有限公司
地址：中国台南市
国籍：CN
代理机构：北京三友知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
