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设置中间反射层的单晶炉[实用新型专利]

来源:微智科技网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:设置中间反射层的单晶炉专利类型:实用新型专利发明人:吴学军

申请号:CN201820158387.7申请日:20180130公开号:CN207811927U公开日:20180904

摘要:一种设置中间反射层的单晶炉,包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件,炉体包括外炉筒和设置在内部的热场,热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层、中间反射层,所述中间反射层设置在加热器与保温层之间,中间反射层靠近加热器的表面为光滑表面,以对加热器散发的热量进行反射,中间反射层的顶部高于加热器的顶部,中间反射层的底部低于加热器的底部,以充分阻隔加热器的热量向保温层传递散失,中间反射层为中钼筒,本实用新型中,采用中间反射层将加热器与保温层隔离,不仅将大量的热量反射至坩埚内,热量使用充分,而且避免了保温层挥发物对晶棒及加热器的影响。

申请人:宁夏旭樱新能源科技有限公司

地址:753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区欣盛路16号

国籍:CN

代理机构:宁夏合天律师事务所

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