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一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理液、制绒预处理方法和制绒预

来源:微智科技网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理液、制绒预

处理方法和制绒预处理硅片及其应用

专利类型:发明专利

发明人:章金兵,付红平,彭也庆申请号:CN201410844067.3申请日:20141230公开号:CN104505437A公开日:20150408

摘要:本发明提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理液,所述制绒预处理液为、氢氟酸、醋酸和水的混合溶液,其中,、氢氟酸、醋酸和水的体积比10-15:1-5:2-6:10-30。本发明还提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法,采用所述制绒预处理液在金刚线切割多晶硅片表面进行处理,形成多孔硅结构,即更深的一层损伤层,得到制绒预处理硅片。本发明还提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法,对所述制绒预处理硅片进行常规制绒处理,在所述硅片表面形成均匀、低反射率的绒面,得到金刚线切割多晶硅片制绒产品。本发明还提供了一种制绒预处理硅片和金刚线切割多晶硅片制绒产品。

申请人:江西赛维LDK太阳能高科技有限公司

地址:338000 江西省新余市高新经济开发区赛维工业园专利办公室

国籍:CN

代理机构:广州三环专利代理有限公司

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