同等功率靶材厚度与速率关系

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厚度分布越均匀，速率越快。
同等功率靶材厚度分布越均匀，速率越快，因为靶材需要具有良好的机械强度和化学稳定性。
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

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