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LED芯片生产用的PECVD，其载片盘是什么材质的，反应时是否会旋转？

来源：微智科技网


PECVD
载片盘铝材质的，反应时是不会旋转的。
旋转的那是MOCVD的托盘，一般为
石墨
的。

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